陈廷敬的上疏，被朝廷采纳了，并根据他所提内容，规定了若干条文，下谕实行。
过了一段时间，云南巡抚王继文以军饷为名，动支库银并私自-。陈廷敬以其溺职不忠，前后银数赢缩相悬，上疏弹劾。
康熙二十五年（1686年），他任工部尚书。同学士徐乾学奏进《鉴古辑览》，康熙认为这本辑览有参阅价值，决定留下来通读。他在工部尚书任内，还纂辑三朝《圣训》、《政治典训》、《方略》、《一统志》、《明史》等，陈廷敬并充总裁官。
康熙二十六年（1687年）调户部，又调吏部。第二年，他的亲戚因贪赃被劾罢，使他身受连累，对他打击较大。之后，他借口父年八十一岁，盼望相守为由，要求解任回乡。清廷答允陈廷敬的请求，免却了他在朝中的职务，但继续担任修书总裁官。
康熙二十九年（1690年），清廷又起用陈廷敬为左都御史，直至文渊阁大学士兼吏部尚书。
康熙四十九年（1710年），皇帝下诏，命令张玉书、陈廷敬领导编纂一部大型字典。第二年，张玉书病逝，陈廷敬独任总裁官。这部大字典组织了三十多人的班子，陈廷敬的儿子陈壮履也在其中。父子留名于一书，一时传为美谈。这部字典是在前人《字汇》和《正字通》的基础上增补充实而成的，共收四万七千多字，是我国古代历史上收字最丰富的字典。后来定名为《康熙字典》。虽然字典问世时，陈廷敬已经去世，但他为编纂这部字典所付出的心血和作出的贡献，为后人所敬仰。
陈廷敬一生著述很多，有《午亭文编》、《尊文阁集》、《河上集》、《杜律诗》、《老姥掌游记》、《三礼指要》、《说岩诗集》等。他的诗风格“清雅醇厚”，很得康熙皇帝的赞赏。
康熙五十一年（1712年）三月，陈廷敬病危，康熙皇帝遣太医前往诊视。四月病卒，终年七十三岁，康熙率大臣侍卫奠洒，并令各部院满、汉大臣前往吊祭。康熙皇帝亲笔写了挽诗，赐祭葬典礼，十分隆重。谥曰文贞。
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